Válvulas de Diafragma para Alta Pureza

Precisión y limpieza extrema 

Válvulas que garantizan control fiable y máxima estanqueidad en aplicaciones de alta (HP) y ultra alta pureza (UHP).

Válvulas de diafragma para Alta Pureza y Ultra Alta Pureza FITOK

Las válvulas de diafragma FITOK están diseñadas para las aplicaciones más exigentes de semiconductores, gases especiales, UHP y procesos críticos de vacío y deposición. Su diseño sin empaquetaduras y la trayectoria de flujo libre de roscas o muelles minimiza la generación de partículas y asegura cero fugas externas. La gama de válvulas de diafragma FITOK incluye válvulas de baja y alta presión, bajo y alto caudal, versiones manuales y neumáticas, modelos sin muelle, compactos y soluciones específicas para ALD (Atomic Layer Deposition), esenciales para el control preciso de gases a escala atómica. Todos los modelos pueden someterse a procesos de limpieza y empaquetado FC-02 (alta pureza) y FC-03 (ultra alta pureza), garantizando eliminación de partículas, limpieza química controlada, secado en atmósfera filtrada y empaquetado en sala limpia. Las superficies electropulidas alcanzan hasta Ra 5 μin (0,13 μm), facilitando purgas y limpieza. Los diafragmas de aleación de cobalto (y BeCu en alta presión) proporcionan larga vida útil incluso en ciclos intensivos y con gases corrosivos. La construcción metal-to-metal asegura estanqueidad superior y la ausencia de espacios muertos permite purgas completas. Con múltiples conexiones, materiales, actuadores y configuraciones disponibles, las válvulas de diafragma FITOK optimizan el control de gas, reducen la contaminación, minimizan tiempos de inactividad y aumentan la seguridad operativa en entornos de alta y ultra alta pureza. En Lexier ponemos a tu disposición nuestra experiencia y asesoramiento especializado para ayudarte a seleccionar la válvula más adecuada para tu proceso, garantizando máxima pureza, fiabilidad y eficiencia.

Características Técnicas

Presión

  • De vacío hasta 310 bar, según la serie.

Actuación

  • Manual
  • Neumática

Certificados

  • Certificadas para aplicaciones de alta pureza (HP) y ultra alta pureza (UHP), con versiones SEMI para procesos semiconductores.

Beneficios

  • Rendimiento de ultra alta pureza: Mínima generación de partículas, sin espacios muertos, ideal para procesos sensibles a la contaminación.
  • Durabilidad y larga vida útil: Diafragmas de aleación de cobalto y materiales resistentes a la corrosión, incluso a alta presión o temperatura.
  • Versatilidad: Diferentes presiones, flujos, actuadores y tipos de conexión para adaptarse a diversas aplicaciones industriales y semiconductores.
  • Estanqueidad confiable: Sellos metálicos o asientos contenidos que evitan fugas externas y garantizan la fiabilidad del proceso.
  • Fácil operación y mantenimiento: Bajo torque de operación, opciones de arranque suave, diseño simplificado y visualización de posición para mayor facilidad de uso.
  • Compatibilidad química y térmica: Modelos resistentes a altas temperaturas y compatibles con múltiples fluidos.
  • Diseño compacto y eficiente: Volumen interno reducido y menos componentes optimizan el flujo y facilitan la limpieza/purga.

Nuestra Gama de Válvulas de Diafragma para Alta Pureza

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