Semiconductores y Microelectrónica

En LEXIER conocemos los requisitos de limpieza, acabado superficial y estanqueidad de las líneas de gases de proceso. Te ayudamos a elegir los componentes de alta pureza adecuados para cada punto de la instalación.

La fabricación de semiconductores y microelectrónica exige sistemas de distribución de gases de ultra alta pureza (UHP): cualquier partícula, humedad o contaminante metálico en la línea puede afectar al rendimiento de las obleas. Por ello, válvulas, racores y tubería deben tener superficies electropulidas, un volumen interno mínimo y ausencia de espacios muertos.

En procesos como la deposición de capas atómicas (ALD), el grabado de capas atómicas (ALE) o la deposición química en fase vapor (CVD), las válvulas deben además ofrecer ciclos de apertura muy rápidos y una larga vida útil, y las líneas de gases peligrosos suelen requerir tubería coaxial de doble contención.

FITOK ofrece una gama completa para estas aplicaciones: válvulas de diafragma para ALD, válvulas de distribución en bloque, racores para soldar y tubería electropulida y coaxial.

Productos para Semiconductores y Microelectrónica

Racores de Soldadura a Tope Serie L de FITOK para Alta y Ultra Alta Pureza
Serie L FITOK

Los Racores de Soldadura a tope Serie L de FITOK están diseñados con un tubo...

Racores para soldar tubulares de la Serie T de Fitok para Alta Pureza
Serie T FITOK

Los Racores Tubulares para Alta Pureza de la Serie T de FITOK están fabricados en...

Racores para Soldar Serie M de Fito para Alta Pureza y Ultra Alta Pureza
Serie M FITOK

Los racores micro soldados de la Serie M de FITOK han sido diseñados para sistemas...

SERIE TCA FITOK

La Serie TCA de FITOK está diseñada para sistemas de ultra alta pureza, especialmente en...

SERIE TBA FITOK

La Serie TBA de FITOK está diseñada para sistemas de fluidos de alta y ultra...

SERIE PEP FITOK

La Serie PEP de FITOK está especialmente desarrollada para aplicaciones críticas en la industria de...

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Familias de productos relacionadas con Semiconductores y Microelectrónica

Racores

Tubería para Alta Pureza y Ultra Alta Pureza de FITOK

Tubería

Válvulas de alta pureza y ultra alta pureza de diferentes diseños y configuraciones para procesos industriales críticos

Válvulas

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